手机浏览器扫描二维码访问
第1099章（第1页）
“了不起啊，小陆，你们了不起啊。”
沙领导满意道：“我记得是7年前还是8年前，也是在这里，你让我看的是65nm干式光刻机，还向我保证绝对能搞出属于我们自己的国产的浸润式光刻机，我本来以为要花10年甚至更长的时间，没想到你给了我们一个大大的惊喜啊！这么快让你们搞出来了！”
“哪里，哪里，领导。”
陆飞露出谦虚而内敛的笑容。
“说说吧，到底是怎么搞出来的？”
沙领导眼里满是赞赏之色。
“其实这并不是逻辑和中微两家的功劳，我们只负责整体的统筹调度和集成研发。”
陆飞笑道：“DUV浸润式光刻机能成功，完完全全归功于参与到整个项目的全体员工、科研人员们，是他们的血汗和信念，才有了今天的光刻机，当然也离不开领导们的支持，地方上的政策，还有相关公司、院校、国企单位的合作。”
顿了顿，“可以说，这台DUV浸润式光刻机凝结了华夏半导体从业人员的智慧和野心，也代表着目前国内光刻机的最高水平，距离国际一线的EUV光刻机，只有一代的代差了。”
“生产7nm的良品率是多少？”
郑韩脸上挂着得意的笑容。
毕竟，如此国之重器出自张江技术园区，沪市毫无疑问当得上“华夏半导体之都”。
“不同的芯片不同的良率，但基本能稳定在70％，慢慢调试改进，可以达到80％。”
陆飞比比画画道：“完全可以比肩AMSL，只用4个光罩、4次曝光，就可以达到7nm制程工艺。”
沙领导问道：“现在逻辑和华为的手机用的都是7nm制程工艺的芯片对吗？”
陆飞点了下头，“没错，7nm是目前市面上最先进的制程工艺，不过根据摩尔定律，再过个一两年，就可能突破到5nm。”
“5nm是不是就需要EUV光刻机了？”
郑韩好奇道。
“有EUV光刻机固然是好，只要一次曝光，一个光罩就能实现7nm、5nm，但没有EUV光刻机也无妨，有这台DUV浸润式光刻机也可以做到。”
陆飞露出个看似轻松的笑容。
“喔？”
顷刻间，一众领导的目光齐聚于他。
“梁博士想到的方案，如果把光刻机极限使用，经过6个光罩，9次曝光，也可以实现5nm工艺。”陆飞直截了当地回答。
一个戴着玳瑁眼镜的领导担忧道：“光刻机这么极限使用，会不会影响到使用寿命？”
“还有良率。”
“是啊，经过这么多道曝光，任何一道工序失败，都可能满盘皆输，成本就上来了……”
领导们来回分析，议论纷纷。
陆飞只能一一回答，“损害寿命肯定会损害，良率低也肯定会低一些，成本自然也就会高一点，但这是没有办法的办法，目前EUV光刻机国产化要实现彻底突破，还有不少技术难题摆在面前，需要时间去攻破。”
“比如呢？”
沙领导投去问询的目光。
“光刻机的技术难点主要集中在光源、反射镜、工作台，现在双工作台已经解决了，光源问题也突破了，就剩下物镜系统。”
陆飞直说道：“AMSL、尼康的光刻机用的是蔡司的技术，但蔡司愿意卖给AMSL、尼康，但绝对不会出口给我们。”
然后叹了口气，“没办法，我们只能从零开始，联合长春光机、徕卡、华为等联合研发，现在搞定了DUV浸润式的物镜系统，至于EUV的，恐怕需要很长一段时间。”
十维空间的神级文明 全民卡牌：我的套路有点脏 不准咬人 江辰路思茵 算命！我是认真的 艳绝傻妻已清醒 许嫣桑傅臻誊 囚笼之三女 勾引龙的正确方式 叶凡轩雨妃嫂子我真不是傻子 我才两岁，逆袭系统什么鬼？ 谍战风云，我的技能有属性！ 快穿，小狐狸又去拯救反派啦 谢谢你一直在 爱是永生的花 我真的是一个道士 叶坤姜有容花带 村姑嫡女谋天下 开局一座还珠楼 月魄在天
七十年代小娇媳
...
![替身养猪去了[快穿]](/img/20/20659.jpg)
替身养猪去了[快穿]
...
传奇篮神
一个浑浑噩噩的少年，在阳台吹风不小心掉了下去，死过一次的他，决定开始改变，故事从这里开始，他就是林浩...
太古神王
玄幻爽文九天大陆，天穹之上有九条星河，亿万星辰，皆为武命星辰，武道之人，可沟通星辰，觉醒星魂，成武命修士。传说，九天大陆最为厉害的武修，每突破一个境界，便能开辟一扇星门，从而沟通一颗星辰，直至，让九重天上，都有自己的武命星辰，化身通天彻地的太古神王。亿万生灵诸天万界，秦问天笑看苍天，他要做天空，最亮的那颗星辰...
凌天至尊
最强系统，我就是最强！还有谁？叶风看着众多的天骄，脸色淡定无比！获得最强系统，经验可复制对方的功法神通，可升级功法神通品阶无所不能，唯有最强！碾压苍穹，打爆世间一切不服者！...
我的狗狗公司闻名世界
...